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（RFIBE-30）型離子束刻蝕機(jī)
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離子源類型；射頻離子源 刻蝕材料：金屬，非金屬，合金，半導(dǎo)體，金屬氧化物，氮化物，碳化物，陶瓷，超導(dǎo)等；
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