射頻離子束刻蝕機(jī)
刻蝕機(jī)
鍍膜機(jī)
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離子源類型;射頻離子源
刻蝕材料:金屬,非金屬,合金,半導(dǎo)體,金屬氧化物,氮化物,碳化物,陶瓷,超導(dǎo)等;
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