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IBE-100型離子束刻蝕機
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一、離子束刻蝕系統(tǒng)(IBE)設(shè)備功能描述 1. 功能概述 該系統(tǒng)為通用離子束刻蝕系統(tǒng),除了可進行傳統(tǒng)三維結(jié)構(gòu)刻蝕外,還可實現(xiàn)離子束清洗、材料表面終極拋光和材料減薄等功能,還可選配反應(yīng)離子束刻蝕(RIBE)。 2. 可加工材料 系統(tǒng)可用于刻蝕加工各種金屬、合金、非金屬、氧化物、氮化物、碳化物、半導(dǎo)體、聚合物、陶瓷、紅外和超導(dǎo)等各種材料。 3. 應(yīng)用領(lǐng)域 廣泛適用于半導(dǎo)體、光學(xué)、光電子、微電子、微機械、X射線近代光學(xué)、通信、導(dǎo)航、衛(wèi)星、導(dǎo)彈、雷達、核聚變、超導(dǎo)、生物、醫(yī)學(xué)、傳感器等多個技術(shù)領(lǐng)域,制造各種力、熱、聲、光、電、磁等新型材料與器件 IBE-100型離子束刻蝕機 離子源類型:考夫曼離子源 刻蝕材料:金屬,非金屬,合金,半導(dǎo)體,金屬氧化物,氮化物,碳化物,陶瓷,超導(dǎo)等;
該系統(tǒng)主要由考夫曼離子源、高真空工藝系統(tǒng)、恒溫水循環(huán)系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)及控制軟件構(gòu)成。適用于超微結(jié)構(gòu)的精密加工,基于自有專利技術(shù)及先進設(shè)計,保證了優(yōu)異的刻蝕均勻性和穩(wěn)定性。 |